为了统一洁净室的空气洁净度等级、各类技术要求，世界各国都陆续制定了各自的洁净室标准，著名的美国之音FS209标准便是从1963年开始制定发布实施的，到1992年已从209A不断修改变化为。洁净室标准是源于各类产品生产工艺技术、产品性能的不断研究开发、升级和各种使用要求，对空气洁净度及污染物的控制要求不断变化、提高，尤其是半导体集成电路的高速发民是洁净度等级的扩大和控制微粒粒径日益严格的重要标志。 洁净室标准也源于洁净技术的研究开发和发展。因此洁净室标准的实施，对洁净室的设计建造和运行具有重要性、…